Berührungslose Messung

Berührungslose Vermessung eines Spaltes / Kante / Position / Durchmesser mit Serie FIA-A

Aufgabenstellung

Bevor Wafer abgelegt werden, sollen diese auf Zentrizität vermessen und ausgerichtet werden, gleichzeitig soll die Position des Nodges am Wafer detektiert werden.

Die Analoggabellichtschranke FIA-A-40/35-10x0,3-MC wurde dazu entwickelt.

Eine Messblende mit L=10mm dient als Arbeitsbereich für die Vermessung. Ein kollimierter (parallel) gerichteter Infrarotlichtvorhang (850nm) beleuchtet die Empfangsoptik.

Als Justagehilfe dient eine gelbe LED, sobald 50% der Messblende abgedeckt sind, leuchtet diese und Schaltausgang OUT1 ist aktiv. Der Schaltausgang kann in der Steuerung eingebunden werden. Somit ist die Positionierung erheblich erleichtert.

Das Analogausgangssignal 0-10V wird mit 12Bit aufgelöst und die Analogbandbreite beträgt typ. 15kHz. Eine Objekterkennung ab typ. 0,01mm wird damit erreicht.

Die Parametrierung erfolgt mit der kostenlosen Windows®Software FIA-SCOPE-MC V1.0.

Die Mechanik der Messgeräte ist flexibel; ob geteilte Sender und Empfängereinheit, ob Gabelversion, nennen Sie uns Ihre Anforderungen.

Die Messblende ist bei diesen Ausführungen bis zu einer Länge von 30mm möglich. Digitale Systeme (Zeilensensoren ) können mit einer Messblende von bis zu 97mm ausgeführt werden.

Weitere Informationen finden Sie auch in unserem Informationsblatt (PDF-File).